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喜报丨天博tb综合体育屡获嘉奖，“创新”激发工艺升级

2023-11-29

近日，天博tb综合体育出席“优化营商环境暨优秀企业表彰大会”，荣获“科技创新成就奖'的殊荣。今年是天博tb综合体育的“创新”收获之年，屡次收获各方认可与青睐。第六届IC技术创新奖、十佳成长企业、十佳优秀知识产权企业、上海硬核科技企业、产业链突破奖、科技创新成就奖......这些奖项，不仅是对天博tb综合体育技术实力和创新能力的肯定，更是对天博tb综合体育“创新驱动未来”的前瞻性企业理念认同。

创新驱动 载誉前行

“抛光、清洗、沉积”三大关键工艺升级

随着电子产品趋向于小型化、功能化和低功耗等方向发展，以系统级封装、晶圆级封装和2.5D/3D封装为代表的先进封装技术获得越来越多的应用。因此，行业从过去专注于晶圆制程工艺的提升转而追求对封装技术的革新。而先进封装的发展也同样需要湿法材料的支持。经过多年的发展，天博tb综合体育的产品已涵盖抛光液、功能性湿电子化学品和电镀液及添加剂等，技术已涵盖集成电路制造中的“抛光、清洗、沉积”三大关键工艺，产品组合可广泛应用于芯片前道制造及后道先进封装过程中的抛光、刻蚀、沉积等关键循环重复工艺及衔接各工艺步骤的清洗工序。

化学机械抛光液

在抛光液领域，天博tb综合体育有着丰富的经验。为促进3D互联、TVS等先进封装技术的发展，天博tb综合体育提供了键合工艺的天博·体育登录入口。键合工艺对铜dishing、erosion要求极高。天博tb综合体育采用创新的缓蚀剂技术，定向吸附铜的表面，降低铜的抛光速度。通过这样的创新，在整个抛光之后，控制dishing、erosion，达到先进封装的互联需求。

功能性湿电子化学品

天博tb综合体育刻蚀后清洗液从2007年开始量产，提供胺基刻蚀后清洗液、半水性刻蚀后清洗液及水性刻蚀后清洗液天博·体育登录入口；抛光后清洗液在2015年就已经量产，现在碱性体系中的重要客户也已有供应。目前，天博tb综合体育功能性湿电子化学品在逻辑芯片、3D NAND、DRAM以及特色工艺方面，都已经进行批量供应，越来越多的客户采用天博tb综合体育的天博·体育登录入口。

电镀液及其添加剂

天博tb综合体育提供一系列电镀液及其添加剂，包括集成电路大马士革工艺铜电镀液及添加剂、先进封装铜、镍、锡银电镀液及其添加剂，进一步支持我国集成电路产业发展。针对 on-chip 芯片电镀技术要求，天博tb综合体育从 Bottom-up 机理入手，通过调整电镀液中的添加剂，实现良好的孔填充效果。在 Off-chip 层面，异构封装面临挑战，天博tb综合体育通过电镀液实现了填充细线填孔，再通过添加剂调整晶格大小、调整电阻，改善导电性，以助力互联技术的发展。

天博tb综合体育始终和客户一起协同创新，对产业链稳健发展贡献一份力量。天博tb综合体育一直坚持可持续发展理念，缔造安全环保的优质产品。